Fecha de publicación: 13/09/2023
Elipsometría. Principios. (ISO 23131:2021).
La norma UNE-EN ISO 23131:2023, «Elipsometría. Principios», establece los fundamentos y principios para la medición de la elipsometría, que se refiere a la determinación del índice de refracción y la curvatura de una superficie mediante la reflexión de un haz de luz en ella.
La norma define los conceptos básicos de la elipsometría, como la función elíptica, el parámetro de elipsis y la relación entre ellos. También establece las condiciones para la realización de mediciones de elipsometría, incluyendo la preparación de la superficie a medir, la selección del haz de luz y los instrumentos necesarios.
La norma también describe los métodos de medición de elipsometría, como la técnica de reflexión total interna (TRI) y la técnica de reflexión parcial externa (RPE), y establece las condiciones para la interpretación de los resultados. Además, se presentan ejemplos prácticos de aplicaciones de la elipsometría en diferentes campos, como la inspección de superficies, la caracterización de materiales y la medición de propiedades ópticas.
La norma UNE-EN ISO 23131:2023 es una herramienta importante para los ingenieros y técnicos que necesitan utilizar la elipsometría en sus aplicaciones, ya sea en la industria manufacturera, la investigación o la inspección.
gracias, por fin encontre la normativa entera, lo unico que hay que hacerlo con el navegador opera gx como indica pero bueno...
gracias, es dificil de encontrar sin pagar