Fecha de publicación: 01/08/2015
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 16: Métodos de ensayo para determinar la tensión residual de películas MEMS. Métodos de curvatura de la oblea y de deflexión del haz (Ratificada por AENOR en agosto de 2015.)
La norma UNE-EN 62047-16:2015 define los métodos de ensayo para determinar la tensión residual de películas MicroElectroMechanical Systems (MEMS). Esta norma es aplicable a dispositivos semiconductores que integren componentes MEMS, como sensores, actuadores y sistemas de control.
La tensión residual se refiere a la fuerza que se mantiene en una película MEMS después de su fabricación o manipulación. Esta propiedad es fundamental para entender el comportamiento mecánico y eléctrico de los dispositivos MEMS.
El presente documento establece dos métodos de ensayo para determinar la tensión residual: el método de curvatura de la oblea y el método de deflexión del haz. El primer método implica la aplicación de una carga a una oblea plana, lo que provoca su curvatura. La tensión residual se calcula entonces mediante la medida de la curvatura y la tensión aplicada.
El segundo método consiste en la aplicación de un haz de luz a través de una película MEMS, lo que provoca una deflexión del haz debido a la tensión residual. La tensión residual se determina entonces mediante la medición de la deflexión del haz y la intensidad de la luz incidente.
Ambos métodos deben ser realizados en un entorno controlado y bajo condiciones específicas, como temperatura y humedad constantes, para asegurar la precisión y reproducibilidad de los resultados. Los ensayos deben ser llevados a cabo por personal capacitado y equipado con instrumentación adecuada.
La norma UNE-EN 62047-16:2015 proporciona una guía práctica para la determinación de la tensión residual en películas MEMS, lo que es fundamental para el diseño, fabricación y caracterización de dispositivos semiconductores que integren componentes MEMS.
gracias, por fin encontre la normativa entera, lo unico que hay que hacerlo con el navegador opera gx como indica pero bueno...
gracias, es dificil de encontrar sin pagar