Fecha de publicación: 01/08/2015
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 17: Método de ensayo de bulto para medir las propiedades mecánicas de las películas finas (Ratificada por AENOR en agosto de 2015.)
La norma UNE-EN 62047-17:2015 establece un método de ensayo para medir las propiedades mecánicas de películas finas utilizadas en dispositivos microelectromecánicos. Este estándar se refiere a la evaluación del comportamiento mecánico de las películas finas, que son componentes esenciales en muchos dispositivos semiconductores.
El método de ensayo descrito en esta norma implica la aplicación de una carga uniforme sobre la película fina, lo que permite medir su resistencia a la tracción y a la compresión. El ensayo se realiza utilizando un dispositivo de prueba específico, que consiste en una placa rígida con una superficie plana y una zona de apoyo para la película fina.
La norma establece los procedimientos para la preparación de la muestra, la aplicación de la carga y la medición de las propiedades mecánicas. También se definen los parámetros de ensayo, como la velocidad de aplicación de la carga, el tipo de carga y la superficie de apoyo.
Además, esta norma proporciona recomendaciones para la interpretación de los resultados del ensayo y establece límites de aceptación para las propiedades mecánicas de las películas finas. El objetivo es garantizar que las películas finas cumplan con los requisitos de resistencia y durabilidad necesarios para su uso en dispositivos microelectromecánicos.
En resumen, la norma UNE-EN 62047-17:2015 proporciona un método estandarizado para evaluar las propiedades mecánicas de películas finas utilizadas en dispositivos semiconductores, lo que es fundamental para garantizar su calidad y rendimiento.
gracias, por fin encontre la normativa entera, lo unico que hay que hacerlo con el navegador opera gx como indica pero bueno...
gracias, es dificil de encontrar sin pagar