Fecha de publicación: 01/11/2014
Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 21: Método de ensayo para la relación de Poisson de materiales MEMS de película delgada (Ratificada por AENOR en noviembre de 2014.)
La norma UNE-EN 62047-21:2014 establece un método de ensayo para determinar la relación de Poisson (ν) de materiales MEMS (Micro-Electromecánicos) con película delgada. Esta norma es aplicable a los dispositivos semiconductores que integran componentes MEMS, como sensores, actuadores y sistemas de medición.
El método de ensayo consiste en la aplicación de una tensión perpendicular a la dirección de la película delgada y la medida de la deformación resultante. La relación de Poisson se calcula mediante la fórmula: ν = (Δl/l) / (Δw/w), donde Δl es el cambio de longitud, l es la longitud inicial, Δw es el cambio de anchura y w es la anchura inicial.
El ensayo se realiza en un ambiente controlado a temperatura constante y humedad relativa baja. Se utilizan muestras de material MEMS con una película delgada de entre 1 μm y 100 μm de espesor. La tensión aplicada debe ser lo suficientemente baja como para evitar la deformación plástica del material.
La norma establece los requisitos para el equipo de ensayo, incluyendo micrómetros, analizador de espectro de interferencia y software de análisis de datos. También se establecen las condiciones de ensayo y los procedimientos para la medición de la deformación y la cálculo de la relación de Poisson.
La aplicación de esta norma es fundamental para la caracterización y validación de materiales MEMS, lo que es crítico para el desarrollo de dispositivos semiconductores con alta precisión y fiabilidad. La determinación de la relación de Poisson permite entender mejor las propiedades mecánicas del material y mejorar su diseño y fabricación.
gracias, por fin encontre la normativa entera, lo unico que hay que hacerlo con el navegador opera gx como indica pero bueno...
gracias, es dificil de encontrar sin pagar