Fecha de publicación: 01/11/2013
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 11: Método de ensayo para coeficientes de expansión térmica lineales de materiales MEMS independientes (Ratificada por AENOR en noviembre de 2013.)
La norma UNE-EN 62047-11:2013 establece un método de ensayo para determinar los coeficientes de expansión térmica lineales (CTEL) de materiales MEMS (Microelectromecánicos) independientes. Esta norma es aplicable a dispositivos MEMS que requieren la medición del CTEL para su correcto funcionamiento y diseño.
El método de ensayo se basa en la medición del desplazamiento lineal del material MEMS en función de la temperatura, utilizando un sistema de medida preciso. El dispositivo MEMS se coloca en una cámara termoreguladora y se mantiene a una temperatura constante durante un período de tiempo determinado. Luego, se registra el desplazamiento lineal del material MEMS mediante un sistema de medición óptico o mecánico.
El CTEL se calcula a partir de la pendiente de la curva de expansión térmica obtenida en el ensayo. La norma establece los requisitos para la preparación y presentación de los resultados, incluyendo la precisión y la repetibilidad de las mediciones.
La norma UNE-EN 62047-11:2013 es una herramienta importante para garantizar la calidad y el rendimiento de dispositivos MEMS, ya que permite evaluar su comportamiento térmico y predecir su respuesta en diferentes condiciones ambientales. Esta norma es ratificada por AENOR (Asociación Española de Normalización y Certificación) en noviembre de 2013.
gracias, por fin encontre la normativa entera, lo unico que hay que hacerlo con el navegador opera gx como indica pero bueno...
gracias, es dificil de encontrar sin pagar