Fecha de publicación: 01/09/2011
Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 8: Métodos de ensayo de curvado en banda la medida de propiedades de tensión de las películas finas(Ratificada por AENOR en septiembre de 2011.)
La norma UNE-EN 62047-8:2011 establece los métodos de ensayo para la medición de propiedades de tensión en películas finas utilizadas en dispositivos micro-electromecánicos. Esta norma es aplicable a las películas finas utilizadas como capas de isolación, condensadores o otros componentes pasivos en dispositivos semiconductores.
El objetivo principal de esta norma es proporcionar un método estandarizado para medir la tensión y el curvado en banda de las películas finas, lo que es fundamental para evaluar su comportamiento mecánico y eléctrico. El ensayo se basa en la aplicación de una carga uniforme a la película fina, lo que provoca un curvado en banda que se mide mediante técnicas ópticas o electrométricas.
La norma especifica los requisitos para el equipo de ensayo, incluyendo la cámara de tensión y el sistema de medición. También establece los procedimientos para la preparación y manipulación de las películas finas antes del ensayo. Además, se definen los parámetros de ensayo, como la carga aplicada, el ángulo de curvado y la velocidad de aplicación.
La norma UNE-EN 62047-8:2011 es importante para garantizar la calidad y confiabilidad de los dispositivos micro-electromecánicos que utilizan películas finas. Los fabricantes y usuarios de estos dispositivos deben cumplir con esta norma para asegurarse de que sus productos cumplan con los requisitos de tensión y curvado en banda.
gracias, por fin encontre la normativa entera, lo unico que hay que hacerlo con el navegador opera gx como indica pero bueno...
gracias, es dificil de encontrar sin pagar