Fecha de publicación: 01/02/2011
Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 4: Especificaciones generales para MEMS. (Ratificada por AENOR en febrero de 2011.)
La norma UNE-EN 62047-4:2010, «Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 4: Especificaciones generales para MEMS», establece los requisitos y especificaciones generales para la diseño, fabricación y pruebas de dispositivos micro-electromecánicos (MEMS). Esta norma es aplicable a todos los tipos de MEMS, incluyendo sensores, actuadores, circuitos integrados y otros dispositivos que utilizan tecnologías MEMS.
La norma se centra en la especificación de los requisitos generales para la diseño y fabricación de MEMS, incluyendo la definición de las características funcionales y no funcionales, como la precisión, la fiabilidad, la resistencia a la corrosión y la compatibilidad con materiales y procesos. También se establecen normas para la documentación y el seguimiento de los dispositivos durante su ciclo de vida.
La norma también incluye especificaciones para la pruebas y medición de MEMS, como la evaluación de la precisión, la estabilidad y la resistencia a la temperatura, humedad y vibraciones. Además, se establecen procedimientos para la verificación y certificación de los dispositivos MEMS.
La norma UNE-EN 62047-4:2010 es una herramienta importante para garantizar la calidad y confiabilidad de los dispositivos MEMS y su integración en sistemas y aplicaciones. Su aplicación puede ser beneficiosa para los fabricantes, diseñadores y usuarios finales de estos dispositivos.
gracias, por fin encontre la normativa entera, lo unico que hay que hacerlo con el navegador opera gx como indica pero bueno...
gracias, es dificil de encontrar sin pagar