Fecha de publicación: 05/03/2015
Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films – Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
[PDF] IEC 62047-16:2015 gratis
Fecha de publicación: 05/03/2015
Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films – Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
gracias, por fin encontre la normativa entera, lo unico que hay que hacerlo con el navegador opera gx como indica pero bueno...
gracias, es dificil de encontrar sin pagar