Fecha de publicación: 01/12/2011
Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 10: Ensayo de compresión de los micropilares en materiales MEMS. (Ratificada por AENOR en diciembre de 2011.)
La norma UNE-EN 62047-10:2011 establece los requisitos y procedimientos para la evaluación del comportamiento de compresión en micropilares de dispositivos micro-electromecánicos (MEMS). Esta parte de la norma se centra en el ensayo de compresionado de los micropilares, que es un elemento crítico en la diseño y fabricación de MEMS.
El objetivo del presente documento es proporcionar una guía para la evaluación de la resistencia a la compresión de los micropilares, lo que es fundamental para garantizar el funcionamiento seguro y confiable de los dispositivos. La norma se aplica a todos los tipos de materiales MEMS, incluyendo silicio, polímeros y otros materiales semiconductor.
La norma describe los requisitos para la preparación del micropilar antes del ensayo, incluyendo la limpieza y el tratamiento superficial. También establece los procedimientos para el ensayo de compresión, que consiste en aplicar una carga gradual al micropilar hasta alcanzar su punto de ruptura.
La norma también especifica los parámetros de medición, como la resistencia a la compresión, la deformación y la velocidad de ruptura. Además, se establecen los límites de aceptación para cada uno de estos parámetros, lo que garantiza la uniformidad y la calidad de los dispositivos MEMS.
En resumen, la norma UNE-EN 62047-10:2011 proporciona una guía detallada para la evaluación del comportamiento de compresión en micropilares de dispositivos MEMS, lo que es fundamental para garantizar su funcionamiento seguro y confiable.
gracias, por fin encontre la normativa entera, lo unico que hay que hacerlo con el navegador opera gx como indica pero bueno...
gracias, es dificil de encontrar sin pagar