Fecha de publicación: 01/01/2007
Dispositivos semiconductores. Parte 2: Dispositivos micro-electromecánicos. Métodos de ensayo de tensión de materiales de película fina (IEC 62047-2:2006). (Ratificada por AENOR en enero de 2007.)
La norma UNE-EN 62047-2:2006, «Dispositivos semiconductores. Parte 2: Dispositivos micro-electromecánicos. Métodos de ensayo de tensión de materiales de película fina», establece los procedimientos y requisitos para la evaluación de la resistencia a la tracción de materiales de película fina utilizados en la fabricación de dispositivos micro-electromecánicos.
La norma se aplica a los materiales de película fina, incluyendo filmes metálicos, no metálicos y compuestos, que se utilizan en la construcción de dispositivos micro-electromecánicos, como actuadores, sensores y otros componentes. Los métodos de ensayo descritos en esta norma permiten evaluar la resistencia a la tracción de estos materiales bajo diferentes condiciones de temperatura, humedad y tensión.
La norma establece los siguientes requisitos:
* Definición de los términos y conceptos utilizados.
* de los métodos de ensayo de tensión de materiales de película fina, incluyendo la preparación del material, la aplicación de la carga y la medición de la resistencia a la tracción.
* Requisitos para la calibración y verificación de los equipos de ensayo.
* Procedimientos para la interpretación de los resultados de los ensayos.
La norma también incluye recomendaciones para la elección del método de ensayo adecuado según el tipo de material y la aplicación específica. La ratificación por AENOR en enero de 2007 garantiza que esta norma sea compatible con las regulaciones y estándares internacionales relacionados con la seguridad y eficiencia de los dispositivos micro-electromecánicos.
gracias, por fin encontre la normativa entera, lo unico que hay que hacerlo con el navegador opera gx como indica pero bueno...
gracias, es dificil de encontrar sin pagar