Fecha de publicación: 01/01/2017
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 25: Tecnología de fabricación de MEMS basados en silicio. Método de medida de la resistencia al cizallamiento y al desprendimiento del área de micro unión. (Ratificada por la Asociación Española de Normalización en enero de 2017.)
La norma UNE-EN 62047-25:2016 se refiere a la tecnología de fabricación de dispositivos microelectromecánicos (MEMS) basados en silicio, y establece un método de medida para evaluar la resistencia al cizallamiento y al desprendimiento del área de micro unión. Esta norma es aplicable a los dispositivos MEMS que requieren una buena adherencia entre las capas de silicio y otros materiales.
El objetivo de esta norma es proporcionar una guía para la evaluación de la resistencia al cizallamiento y al desprendimiento del área de micro unión en dispositivos MEMS, lo que es fundamental para garantizar su funcionamiento y durabilidad. El método de medida descrito en esta norma se basa en la aplicación de una fuerza perpendicular a la superficie de la unión entre las capas de silicio y otros materiales, seguida de la medición del desplazamiento resultante.
La resistencia al cizallamiento y al desprendimiento del área de micro unión se evalúa mediante la medida del desplazamiento máximo alcanzado antes de que se produzca el desprendimiento. Esta medida se expresa en unidades de fuerza por unidad de superficie (N/m). La norma establece también los requisitos para la preparación y condición de las muestras, así como los procedimientos para la medición y análisis de los resultados.
En resumen, esta norma proporciona una guía detallada para la evaluación de la resistencia al cizallamiento y al desprendimiento del área de micro unión en dispositivos MEMS basados en silicio, lo que es fundamental para garantizar su funcionamiento y durabilidad.
gracias, por fin encontre la normativa entera, lo unico que hay que hacerlo con el navegador opera gx como indica pero bueno...
gracias, es dificil de encontrar sin pagar