Fecha de publicación: 01/06/2012
Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 9: Medida de la resistencia de la unión oblea a oblea para NEMS. (Ratificada por AENOR en junio de 2012.)
La norma UNE-EN 62047-9:2011, titulada «Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 9: Medida de la resistencia de la unión oblea a oblea para NEMS», establece los requisitos y métodos para medir la resistencia de la unión entre dos obleas en dispositivos micro-electromecánicos (NEMS) semiconductores.
Esta norma se aplica a los dispositivos NEMS que utilizan obleas como componentes críticos, tales como sensores, actuadores y sistemas de almacenamiento. La resistencia de la unión entre las obleas es fundamental para determinar el rendimiento y la fiabilidad de estos dispositivos.
La norma define los métodos de medición de la resistencia de la unión, incluyendo la técnica de tensión constante (DC) y la técnica de corriente constante (CC). También se establecen los requisitos para el equipo de medición y los procedimientos de calibración.
Además, la norma especifica los límites de tolerancia para la resistencia de la unión y proporciona recomendaciones para la interpretación de los resultados. La aplicación de esta norma es fundamental para garantizar la calidad y la fiabilidad de los dispositivos NEMS semiconductores.
gracias, por fin encontre la normativa entera, lo unico que hay que hacerlo con el navegador opera gx como indica pero bueno...
gracias, es dificil de encontrar sin pagar