Fecha de publicación: 01/02/2012
Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 12: Método de ensayo de fatiga al doblado de materiales de película fina utilizando vibración resonante de las estructuras MEMS. (Ratificada por AENOR en febrero de 2012.)
La norma UNE-EN 62047-12:2011 establece un método de ensayo para evaluar la resistencia a la fatiga al doblado de materiales de película fina utilizados en dispositivos micro-electromecánicos (MEMS). Este método se basa en la vibración resonante de las estructuras MEMS, lo que permite analizar la capacidad del material para soportar cargas cíclicas sin sufrir daños.
El ensayo consiste en sujetar una muestra de material a un punto fijo y aplicar una carga cíclica mediante una fuerza vibratoria. La frecuencia de vibración se ajusta para que coincida con la resonancia natural de la estructura MEMS, lo que permite analizar la respuesta del material a las cargas cíclicas.
La norma establece los requisitos para la preparación de las muestras, incluyendo el tamaño y la forma de las piezas, así como los procedimientos para la aplicación de la carga vibratoria. También se definen los parámetros de medición, como la amplitud de vibración, la frecuencia y el número de ciclos.
El método de ensayo se basa en la detección de la respuesta del material a las cargas cíclicas mediante la medición de la deformación o la rotura de la estructura MEMS. La norma establece los límites de aceptación para la resistencia a la fatiga al doblado, lo que permite evaluar la capacidad del material para soportar cargas cíclicas sin sufrir daños.
En resumen, la norma UNE-EN 62047-12:2011 proporciona un método estandarizado para evaluar la resistencia a la fatiga al doblado de materiales de película fina utilizados en dispositivos MEMS, lo que es importante para garantizar la fiabilidad y durabilidad de estos dispositivos.
gracias, por fin encontre la normativa entera, lo unico que hay que hacerlo con el navegador opera gx como indica pero bueno...
gracias, es dificil de encontrar sin pagar